FLTZ -45℃~90℃
廣泛運(yùn)用在半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱介質(zhì) 不可燃流體控溫場(chǎng)所,適用于半導(dǎo)體芯片制造、芯片器件、航空電子設(shè) 備中的制冷加熱溫度控制。
請(qǐng)搜索 制冷加熱控溫系統(tǒng) 超低溫冷凍機(jī) 制冷加熱控溫控流量系統(tǒng)(汽車(chē)防凍液) 制冷加熱控溫系統(tǒng)(氣體) TCU控溫單元
廣泛運(yùn)用在半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱介質(zhì) 不可燃流體控溫場(chǎng)所,適用于半導(dǎo)體芯片制造、芯片器件、航空電子設(shè) 備中的制冷加熱溫度控制。
生產(chǎn)車(chē)間面積超1.2萬(wàn)㎡,2021年銷(xiāo)售額突破3億元,在職員工近300人。




| 型號(hào) | FLTZ-402 FLTZ-402W | FLTZ-403 FLTZ-403W | FLTZ-404 FLTZ-404W | FLTZ-406 FLTZ-406W | FLTZ-408 FLTZ-408W | FLTZ-410 FLTZ-410W | FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 溫度范圍 | ?-45℃~90℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備) | ||||||
| 流量/壓力 MAX | 10~25L/min? 5bar | 15~45L/min 5bar | 25~75L/min 5bar | ||||
| 制熱 | 采用壓縮機(jī)制熱,防止冷凝器結(jié)霜技術(shù) | ||||||
| 制冷量at-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R404A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙醇水溶液等 | ||||||
| 進(jìn)出接口尺寸 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/H | 2.4m3/H | 3.5m3/H | 5m3/H | 5.5m3/H | 6m3/H | 8m3/H |
| ?藝過(guò)程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹(shù)算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度(動(dòng)態(tài)控溫) | ||||||
| 外形尺寸 cm | 90*45*113 | 90*45*113 | 90*45*113 | 105*50*140 | 105*50*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
本內(nèi)容版權(quán)歸無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司所有,轉(zhuǎn)載請(qǐng)說(shuō)明出處m.zzsxw.com,盜版必究!
咨詢(xún)合作:400-100-3173
