FLTZH雙通道高溫Chiller

2025/07/24 Chiller高精度冷熱循環(huán)器 507

適用范圍

FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。

每個通道具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等，采用獨立的兩套系統(tǒng)，根據(jù)所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷，或者采用ETCU無壓縮機換熱系統(tǒng)，系統(tǒng)可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等，可以有效減少設(shè)備尺寸，減少操作步驟。

加載情況下控溫精度可達士0.1℃，可在-45℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。

產(chǎn)品參數(shù)

型號		FLTZH-5W/2T
介質(zhì)溫度范圍		40℃～+250℃
控制系統(tǒng)		PLC控制器
溫控點控制模式		本體出液口溫控控制模式本體回液口溫度控制模式 CHUCK入口溫度控制模式（通信） CHUCK回口溫度控制模式（通信） CHUCK本體溫度控制模式（通信）
溫差控制		可設(shè)定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差
通信協(xié)議		MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS485接口，以太網(wǎng)接口
外接入溫度反饋		通過通信
介質(zhì)出口溫控精度		±0.1℃
CHUCK溫控精度		±0.5℃
加熱功率		5.5kW	5.5kW
冷卻能力 kW? AT	250 ℃	5.5kW	5.5kW
	150 ℃	5kW	5kW
	100 ℃	4kW	4kW
	50 ℃	2kW	2kW
流量/壓力		8L/min 4bar	8L/min 4bar
操作面板		7寸觸摸屏
安全防護		具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電流監(jiān)控、漏水報警、加熱系統(tǒng)三重保護、進出液口壓力監(jiān)控及斷流保護
密閉循環(huán)系統(tǒng)		整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導(dǎo)熱介質(zhì)。
接口尺寸		G1/2	G1/2
冷卻水接口		Rc1/2
冷卻水流量		10L/min max? at 25℃
導(dǎo)熱介質(zhì)		氟化液
外形尺寸 cm		4585145（可定制化）
重量kg		約40KG
電源		220V 三相四線制 32A
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑RAL7035