全氟聚醚油常溫下為無色透明的油狀液體，耐高溫、耐化學腐蝕、抗氧化、抗輻射，主要用作潤滑油、真空泵油，由于具有高的穩定性、安全性，特別是在尤為苛刻條件下工作時所表現的高度可靠性，因此，沒有任何一種工作介質能在如此嚴酷的環境下與全氟聚醚油相媲美。