快速溫變控溫卡盤MD

2023/07/13 氣體控溫系統(tǒng) 2862

MD在熱測(cè)試方面的zui大創(chuàng)新是熱控制卡盤系列，主要用于半導(dǎo)體晶片的性能測(cè)試、建模、工藝開發(fā)、設(shè)計(jì)缺陷或IC故障分析。可以實(shí)現(xiàn)快速溫度變化，精準(zhǔn)控制溫度。系統(tǒng)本身自帶制冷機(jī)，避免了液氮、二氧化碳等的消耗，每個(gè)系統(tǒng)均包含了卡盤和冷熱控制單元

產(chǎn)品介紹詳細(xì)信息

型號(hào)	MD-708	MD-712	MDL-708
溫度范圍	-75℃～225℃	-75℃～225℃	-75℃～225℃
控溫精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
平板溫度均勻性	±1℃	±1℃	±1℃
平板平整度	±50um	±50um	±50um
平板尺寸	直徑200mm圓盤	直徑300mm圓盤	150mm*200mm
主機(jī)與卡片連接線	2.5m(可定制其他長(zhǎng)度）
平板表面處理	電鍍鎳（可選擇電鍍黃金）
升溫	-60°C to +25°C: 2 min 0°C to +25°C: 2?min +25°C to +220°C: 6 min
降溫	220°C to +25°C: 2 min +25°C to -60°C: 6 min
控制系統(tǒng)	PLC控制器，加熱前饋PID模糊算法，制冷電子膨脹閥PID調(diào)節(jié)控制制冷量
顯示與記錄	7寸彩色觸摸屏，記錄溫度曲線
通訊	以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
制冷壓縮機(jī)	泰康壓縮機(jī)
電源	220V 50/60HZ 2.8KW	220V 50/60HZ 4.5KW	220V 50/60HZ 2.8KW
主機(jī)尺寸mm	550×650×370	550×650×370	550×650×370