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Chiller高精度冷熱循環(huán)器

Chiller高精度冷熱循環(huán)器

冠亞恒溫制冷代表國際先進(jìn)的液體溫度控制技術(shù),積極探索和研究元件測試系統(tǒng),主要用于醫(yī)藥化工、新能源、半導(dǎo)體、航空航天測試中的溫度測試模擬,具有寬的溫度方向和高溫升降,溫度范圍:-100°C~+90°C,控溫精度高達(dá):±0.01℃適用于各種測試要求。

產(chǎn)品有流體氟化液控溫(最低-100度)、支持多通道連續(xù)控溫。所有設(shè)備出廠前經(jīng)過100%氨檢測,100%安規(guī)檢測,確保系統(tǒng)安全可靠性。40℃以內(nèi)加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱,Chiller循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計、采用磁力驅(qū)動泵,擁有高效的生產(chǎn)穩(wěn)定性和可重復(fù)性結(jié)果,滿足復(fù)雜控溫需求,支持非標(biāo)定制。


單通道系列chiller

半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度準(zhǔn)確控制,控溫范圍:-100℃~+90℃;控溫精度:±0.01℃。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

chiller 的排吸氣溫度(壓力)、冷凝溫度、冷卻水溫度(壓力)、進(jìn)出液體(氣體)溫度(壓力)、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行全面管理監(jiān)控記錄。

FLTZ? 5℃~+90℃

型號FLTZ-002
FLTZ-002W
FLTZ-003
FLTZ-003W
FLTZ-004
FLTZ-004W
FLTZ-006
FLTZ-006W
FLTZ-008
FLTZ-008W
FLTZ-010
FLTZ-010W
FLTZ-015
FLTZ-015W
溫度范圍5℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
制冷量AT10℃6kW8kW10kW15kW20kW25kW40kW

FLTZ? -25℃~+90℃

型號FLTZ-202
FLTZ-202W
FLTZ-203
FLTZ-203W
FLTZ-204
FLTZ-204W
FLTZ-206
FLTZ-206W
FLTZ-208
FLTZ-208W
FLTZ-210
FLTZ-210W
FLTZ-215
FLTZ-215W
溫度范圍-25℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
制冷量AT-15℃2kW3kW3.8kW6kW7.6kW10kW15kW

FLTZ? -45℃~+90℃

型號FLTZ-402
FLTZ-402W
FLTZ-403
FLTZ-403W
FLTZ-404
FLTZ-404W
FLTZ-406
FLTZ-406W
FLTZ-408
FLTZ-408W
FLTZ-410
FLTZ-410W
FLTZ-415
FLTZ-415W
溫度范圍-45℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
制冷量AT-35℃1kW1.4kW1.8kW2.5kW3.3kW5kW8kW

FLTZ? -80℃~+90℃

型號FLTZ-803WFLTZ-805WFLTZ-806WFLTZ-808WFLTZ-810W
溫度范圍?-80℃~+90℃
控溫精度
  1. ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
流量/壓力 MAX7~25L/min? 5bar12~45L/min 6bar

FLTZ? -100℃~+90℃

型號FLTZ-1002WFLTZ-1004W
溫度范圍?-100℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
流量 MAX7~25L/min12~45L/min
制冷量at-90℃1.5kW3kW

FLTZ? 15℃~+25℃

型號FLTZ-001SFLTZ-002S
FLTZ-002WS
FLTZ-003S
FLTZ-003WS
FLTZ-004S
FLTZ-004WS
FLTZ-006S
FLTZ-006WS
?FLTZ-008WSFLTZ-010WS
溫度范圍15℃~25℃
控溫精度±0.005℃? 設(shè)備出口溫度控制精度
流量7L/min 3bar15L/min? at 4bar30L/min at 4bar75L/min? at? 4bar

所有設(shè)備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。


雙通道系列chiller

多通道獨?控溫,可以具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能?、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等,采?獨立的兩套系統(tǒng),根據(jù)所需的溫度范圍選擇采?蒸汽壓縮制冷,或者采?ETCU?壓縮機(jī)換熱系統(tǒng),系統(tǒng)可通?膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等,可以有效減少設(shè)備尺?,減少操作步驟。

FLTZ -20℃~+90℃

型號FLTZ-203W-2T
管道通道1通道2
溫度范圍-20℃~+90℃-20℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
制冷量4kW@-10℃4kW@-10℃
冷卻水流量20L/min20L/min

FLTZ -45℃~+80℃

型號FLTZ-406W/ETCU-015W
管道通道1通道2
溫度范圍-45℃~+40℃+10℃~+80℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
制冷量11kW@-20℃? 5kW@-40℃13kW@+10℃
冷卻水流量40L/min20L/min

FLTZ -45℃~+90℃

型號FLTZ-203W/2T雙系統(tǒng)FLTZ-305W/2T雙系統(tǒng)FLTZ-406W/2T雙系統(tǒng)
溫度范圍-20℃~+90℃-30℃~+90℃-45℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
流量壓力15~45L/min , 6 bar max
制冷量3kW@-15℃3kW@-15℃5kW@-15℃5kW@-15℃2.5kW@-35℃2.5kW@-35℃
冷卻水流量50L/min@20℃60L/min@20℃50L/min@20℃

所有設(shè)備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。

FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制,系統(tǒng)支持三個通道獨立控溫,每個通道有獨立的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。
公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度,加載情況下控溫精度可達(dá)±0.1C,可在-20℃~+100℃之間任意切換,具有良好的溫度跟隨性。

三通道 -10℃~+80℃

型號FLTZ-203W/ETCU-008W
管道通道1通道2通道3
溫度范圍-10℃~+60℃+30℃~+80℃-10℃~+80℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
制冷量4kW@-10℃/21kW@20℃6kW@+30℃3kW@-10℃
冷卻水流量30L/min@15~20℃15L/min@15~20℃15L/min@15~20℃

所有設(shè)備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。


三通道 -30℃~+100℃

型號FLTZ-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
管道通道1通道2通道3
溫度范圍-20℃~+50℃+30℃~+100℃-30℃~+40℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
制冷量15kW@-10℃13kW@PCW+15℃8kW@PCW+10℃
冷卻水流量30L/min@15~20℃15L/min@15~20℃15L/min@15~20℃

雙通道高溫chiller

本設(shè)備的研發(fā)?的是開發(fā)?種專?高溫控溫的Chiller,用來滿足半導(dǎo)體?溫測試需求。

創(chuàng)新點:介質(zhì)溫度最高可達(dá)250℃;以特殊的?藝方式,保證系統(tǒng)高溫?況下的控溫精度。

 

 

 

FLTZH 40℃~+250℃

型號FLTZH-5W/2T
介質(zhì)溫度范圍40℃~+250℃
溫控點控制模式本體出液口溫控控制模式
本體回液口溫度控制模式
CHUCK入口溫度控制模式(通信)
CHUCK回口溫度控制模式(通信)
CHUCK本體溫度控制模式(通信)
外接入溫度反饋通過通信
介質(zhì)出口溫控精度±0.1℃
CHUCK溫控精度±0.5℃
加熱功率5.5kW5.5kW
冷卻能力 kW? AT250 ℃5.5kW5.5kW
150 ℃5kW5kW
100 ℃4kW4kW
50 ℃2kW2kW
流量/壓力8L/min 4bar8L/min 4bar

所有設(shè)備額定測試條件:?球溫度:20℃;濕球溫度:16℃。進(jìn)?溫度:20℃;出?溫度:25℃。


帕爾貼chiller

冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃,專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制;
基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理,帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制;
對于靜電卡盤(ESC)動態(tài)的溫度控制,使得其能夠應(yīng)用于所有類型的刻蝕工藝;
快速和精確的溫度控制,能夠滿足任何嚴(yán)苛的工藝要求;

TEC -20℃~90℃

型號TEC-1200WTEC-2500WTEC-4500W
溫度范圍-20℃~90℃
控溫精度±0.1℃
制冷能力20℃1200W2450W4500W
10℃900W1925W3500W
0℃600W1400W2600W
?-10℃350W875W1600W
?-20℃80W350W700W
制熱能力>3000W>6000W>12000W

負(fù)壓型控溫機(jī)組chiller

負(fù)壓型控溫系統(tǒng)通過負(fù)壓環(huán)境下的流體循環(huán)實現(xiàn)精準(zhǔn)溫度控制,原理:通過負(fù)壓發(fā)?器驅(qū)動導(dǎo)熱介質(zhì)(?/油)循環(huán),避免泄漏風(fēng)險,適用于各種類型板卡冷卻。

 

設(shè)備名稱負(fù)壓循環(huán)溫控設(shè)備
設(shè)備型號ZLFQ-80
額定換熱量80kW
一次側(cè)
(介質(zhì)側(cè))
工作介質(zhì)純水、氟化液、乙二醇水溶液等
額定流量300L/MIN
儲液容積120L
供回液溫度25/35℃
溫控精度±0.3℃
真空泵抽氣量130m3/h
負(fù)壓壓頭70KPA
內(nèi)循環(huán)泵配置1+1冗余
介口尺寸ZG1-1/4
二次側(cè)
(冷卻側(cè))
冷卻介質(zhì)PCW
冷卻流量4m3/h
過濾精度50um
介口尺寸ZG1

 

 

 

 

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