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FLTZ-100℃~+90℃

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廣泛運用在半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱介質(zhì) 不可燃流體控溫場所,適用于半導(dǎo)體芯片制造、芯片器件、航空電子設(shè) 備中的制冷加熱溫度控制。

廠家實力視頻:

生產(chǎn)車間面積超1.2萬㎡,2021年銷售額突破3億元,在職員工近300人。

應(yīng)用行業(yè)

無錫冠亞氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)廣泛運用在半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱截止不可燃流體控溫場所,適用于半導(dǎo)體芯片制造流程、功率器件、航空電子設(shè)備中的制冷加熱溫度控制。

產(chǎn)品不僅能在眾多傳熱應(yīng)用中提供較好性能,而且不會對人身安全和環(huán)境可持續(xù)性產(chǎn)生負面影響。氟化液制冷加熱控溫是使用不可燃的絕緣液體氟化液,具有工作溫度范圍寬泛,易于維護等特點,是傳統(tǒng)冷卻液體(如水、水乙二醇或油)的理想替代品。氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)用途廣泛,從半導(dǎo)體制程過程冷卻,再到對航空航天電子設(shè)備的冷卻都有應(yīng)用。

結(jié)構(gòu)原理

控溫系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計原理和功能優(yōu)勢 采用全密閉管道式設(shè)計,降低導(dǎo)熱液需求量的同時,提高系統(tǒng)的熱量利 用率,達到快速升降溫度。

氟化液具有低毒性、不可燃,屬于一種不會影響環(huán)境的可持續(xù)性發(fā)展的 高性能產(chǎn)品,可使溫室氣體排放量減少。同時針對氟化液易揮發(fā)特點, 加強接頭設(shè)計、系統(tǒng)密封設(shè)計,確保介質(zhì)使用壽命。

型號FLTZ-1002WFLTZ-1004W
溫度范圍?-100℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
流量 MAX7~25L/min12~45L/min
制冷量at-90℃1.5kW3kW
加熱功率3.5kW5.5kW
內(nèi)循環(huán)液容積5L8L
膨脹罐容積10L15L
導(dǎo)熱介質(zhì)氟化液
導(dǎo)熱介質(zhì)接口Rc3/4Rc3/4
冷卻水接口Rc3/4Rc1
冷卻水a(chǎn)t20℃50L/min 2bar~7bar100L/min 2bar~7bar
斷路器32A63A
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度(動態(tài)控溫)

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